熱陰極真空計(jì)IONIVAC ITR 90

真空壓力測(cè)量和原理

隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，對(duì)真空變送器量程的要求達(dá)到2000毫巴至10^-12毫巴，測(cè)量范圍達(dá)16個(gè)數(shù)量級(jí)。

由于物理特性的原因，沒有一個(gè)單獨(dú)的真空計(jì)能夠在整個(gè)壓力范圍內(nèi)進(jìn)行定量測(cè)量。因此，萊寶真空提供一系列采用不同設(shè)計(jì)的具有各自特有測(cè)量范圍（測(cè)量原理應(yīng)用直接壓力測(cè)量和間接壓力測(cè)量）的真空計(jì)。

直接（）式壓力測(cè)量與被測(cè)量的氣體類型無關(guān)。利用機(jī)械方法，通過作用于薄膜表面的壓力進(jìn)行測(cè)量。

間接壓力測(cè)量通過測(cè)量氣體也壓力有關(guān)的性質(zhì)（例如熱導(dǎo)率，電離概率）進(jìn)行間接測(cè)量的，因此間接壓力測(cè)量的結(jié)果取決于具體的氣體類型。測(cè)量讀數(shù)是以空氣或氮?dú)鉃闇y(cè)量氣體時(shí)的讀數(shù)，對(duì)于其他氣體，可利用修正因數(shù)修正測(cè)量讀數(shù)。

萊寶真空變送器控制簡(jiǎn)單，極易與系統(tǒng)集成。

萊寶真空計(jì)的優(yōu)勢(shì)：

可靠性高

操作簡(jiǎn)單

測(cè)量結(jié)果重復(fù)性好

持續(xù)監(jiān)測(cè)若干測(cè)量地點(diǎn)

安裝簡(jiǎn)單并且節(jié)省成本和空間

測(cè)量地點(diǎn)和加工站之間的傳輸距離變長(zhǎng)（可達(dá)100米）

通過數(shù)字/模擬接口將數(shù)據(jù)傳輸至PLC/計(jì)算機(jī)

符合電磁兼容性（EMC）要求

符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)程（CE,UL,RoHS,WEEE等）

ITR90/ITR90PB,ITR200S/ITR200SP

IONIVAC型變送器采用熱陰極電離計(jì)與皮拉尼傳感器的組合，具有量程寬的特點(diǎn)，適用于對(duì)不可燃的氣體和氣體混合物進(jìn)行真空壓力測(cè)量。

優(yōu)勢(shì)

皮拉尼與熱陰極復(fù)合真空計(jì)

ITR200采用雙燈絲設(shè)計(jì)，維護(hù)周期長(zhǎng)

體積小，節(jié)省安裝空間

測(cè)量原理

BA型熱陰極電離真空計(jì)與皮拉尼熱導(dǎo)真空計(jì)的組合

量程范圍

5.10^-10mbar到1000mbar